一、凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)置方式
潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)有集中設(shè)置方式和分散設(shè)置方式。集中設(shè)置方式是將空氣處理機(jī)組 (AHU) 集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi),在空調(diào)機(jī)組內(nèi)集中進(jìn)行初效、中效或亞高效空氣過濾凈化和熱、濕處理,然后由送風(fēng)管道輸送至潔凈室的吊頂上部,經(jīng)過設(shè)在潔凈室頂棚上的末端高效空氣過濾器或高效過濾器送風(fēng)口進(jìn)行終端凈化送入潔凈室,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對潔凈度、溫度、相對濕度和壓力的要求。潔凈室回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)口、回風(fēng)管再返回至空調(diào)機(jī)房的空調(diào)機(jī)組內(nèi)與新風(fēng)混合,重復(fù)進(jìn)行熱、濕處理和凈化處理。這類集中式系統(tǒng)可有全新風(fēng) (直流系統(tǒng)) 方式,一次回風(fēng)方式和一、二次回風(fēng)方式以及 MAU+RAU 方式等。
為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷執(zhí)相互抵消,當(dāng)潔凈送風(fēng)量大于消除熱、濕負(fù)荷的空調(diào)送風(fēng)量時(shí),最好采用一、二次回風(fēng)系統(tǒng)將二次混合點(diǎn)設(shè)計(jì)在系統(tǒng)送風(fēng)點(diǎn)上,這是節(jié)能、經(jīng)濟(jì)的凈化空調(diào)系統(tǒng)。當(dāng)多個(gè)潔凈室的潔凈度,溫、濕度要求不同,各潔凈室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近時(shí),為了確保每個(gè)潔凈室的潔凈度,溫、濕度及其精度的要求應(yīng)設(shè)置多個(gè)循環(huán)機(jī)組(RAU);循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)量是凈化送風(fēng)量,并且在機(jī)組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補(bǔ)充新風(fēng)機(jī)組熱、濕處理的不足和保證潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機(jī)組設(shè)在潔凈室的吊頂上面,循環(huán)機(jī)組的送風(fēng)余壓相對都較小,機(jī)組體積和機(jī)組噪聲、振動也較小,送回風(fēng)管也比較短小。新風(fēng)機(jī)組 (MAU) 設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi),這些潔凈室的新風(fēng)全部由 MAU 提供熱、濕和凈化處理,然后輸送至各循環(huán)機(jī)組與回風(fēng)混合。
幾種形式各具特點(diǎn)和適用性,在實(shí)際應(yīng)用中,應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的潔凈室規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及其要求確定,同時(shí)應(yīng)考慮運(yùn)行經(jīng)濟(jì)和降低能量消耗。
二、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)方式
1、集中送風(fēng)方式
集中送風(fēng)系統(tǒng) ,室外新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)處理裝置 (MAU) 后,與經(jīng)表冷器降溫和風(fēng)機(jī)增壓的潔凈室 (區(qū)) 回風(fēng)混合,通過高效過濾器送至潔凈生產(chǎn)層。
采用數(shù)臺大型新風(fēng)機(jī)組和凈化循環(huán)機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房內(nèi),空調(diào)機(jī)房可位于潔凈室的側(cè)面或頂部。經(jīng)過溫度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風(fēng)機(jī)或軸流風(fēng)機(jī)加壓通過風(fēng)管送入送風(fēng)靜壓箱,再經(jīng)由高效過濾器或超高效過濾器過濾送入潔凈室?;仫L(fēng)經(jīng)格柵地板系統(tǒng)流入回風(fēng)靜壓箱,再回到凈化空調(diào)系統(tǒng)的循環(huán)系統(tǒng),如此反復(fù)循環(huán)運(yùn)行。
2、隧道潔凈室送風(fēng)方式
隧道送風(fēng)系統(tǒng) ,潔凈室 (區(qū))的回風(fēng)經(jīng)維修區(qū)與新風(fēng)處理裝置 (MAU) 處理后的新風(fēng)混合,由循環(huán)空氣處理裝置送入送風(fēng)靜壓箱,通過空氣過濾器送入潔凈生產(chǎn)層。
這種送風(fēng)方式一般把潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區(qū)、維護(hù)區(qū)。生產(chǎn)核心區(qū)要求高潔凈度等級和嚴(yán)格的溫、濕度控制,設(shè)在單向流送風(fēng)區(qū)內(nèi);維護(hù)區(qū)要求較低,設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備或無潔凈要求的生產(chǎn)設(shè)備尾部和配管配線等。生產(chǎn)區(qū)為送風(fēng)區(qū),維護(hù)區(qū)為回風(fēng)區(qū),構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風(fēng)由多臺循環(huán)空氣系統(tǒng)組成,所以其中一臺循環(huán)機(jī)組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域的生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級,并且各個(gè)循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)需要進(jìn)行分區(qū)調(diào)整控制。
3、風(fēng)機(jī)過濾單元送風(fēng)方式
風(fēng)機(jī)過濾單元送風(fēng)也稱為FFU系統(tǒng) ,潔凈室 (區(qū)) 的回風(fēng)經(jīng)表冷器峰溫后與處理后的新風(fēng)混合,通過 FFU 增壓、過濾送入潔凈生產(chǎn)層。
這是在潔凈室的吊頂上安裝多臺風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組 ,構(gòu)成凈化循環(huán)機(jī)組,不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機(jī)房,送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓??諝庥?/span>FFU送到潔凈室,從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風(fēng)靜壓箱:根據(jù)潔凈室的溫度調(diào)節(jié)需要,一般在回風(fēng)夾道設(shè)置干式表冷器。新風(fēng)處理機(jī)組可集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi),處理后新風(fēng)直接送入送風(fēng)靜壓箱。因送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓,有利于高效過濾器頂棚的密封,但由于 FFU 機(jī)組臺數(shù)較多,在滿布率較高時(shí)。一般投資較大,運(yùn)行費(fèi)用亦多。有的 FFU 噪聲較大,選用時(shí)需要注意。
4、模塊式風(fēng)機(jī)單元送風(fēng)方式
它是送風(fēng)機(jī)安裝在 HEPA 或 ULPA 之上,1 臺送風(fēng)機(jī)可配數(shù)臺高效過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)。這種模塊式風(fēng)機(jī)單元 (fan module unit,F(xiàn)MU) 循環(huán)系統(tǒng)是無風(fēng)管道方式,空氣輸送速度較低,送風(fēng)機(jī)和過濾器維修較方便,能量消耗較少。
5、微環(huán)境+開放式潔凈室的送風(fēng)方式
這種方式是為了確保生產(chǎn)環(huán)境要求極為嚴(yán)格的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵工序或設(shè)備的微環(huán)境控制達(dá)到高潔凈度等級 (如 0.05~0.1 μm,ISO 1級),而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級 (如ISO 5 級或ISO6 級),微環(huán)境內(nèi)控制潔凈度嚴(yán)格的單向流潔凈環(huán)境,而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少,工藝布置靈活性好,建設(shè)投資和運(yùn)行費(fèi)用都可以降低。

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